電 話：0531-88876060
手機(jī)：18678828660
郵 箱：177abc@163.com
地 址：山東省濟(jì)南市高新區(qū)丁豪廣場(chǎng)7號(hào)樓
晶圓尺寸：4~12寸 25pcs*1 or 2 cassette
槽體：3酸/3水 or 4酸/4水 （可客制）
化學(xué)循環(huán)/加熱控制/濃度控制/流量控制
酸/堿/有機(jī)..排風(fēng)及排放分開排
化學(xué)藥液：CCSS or LCSS 供應(yīng) /自動(dòng)混酸系統(tǒng)
可選回收或排放
配置：CO2滅火裝置/去靜電產(chǎn)生器/攝像頭
軟件控制：PC+PLC+GUI控制,可支持SECS GEM/EAP/FDS
咨詢電話：
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公司郵箱：177abc@163.com
公司地址：山東省濟(jì)南市高新區(qū)丁豪廣場(chǎng)7號(hào)樓
